随着电子设备产业的迅猛发展,电子产品需求持续攀升,其中光伏产业在电子工业中的发展势头尤为突出。然而,伴随光伏产品需求量的不断增加,光伏加工制造过程中的环境污染问题也日益凸显。针对光伏工业加工过程中产生的废气,应采取何种处理方式、选用何种处理设备,成为亟待探讨的重要课题。
光伏工业主要涵盖电池片生产、硅片生产及硅料提纯等环节,其中电池片生产环节的污染性较强,涉及的污染物种类也较为繁多,主要包括氯化氢(HCl)、挥发性有机物(VOCs)、氨气(NH₃)及氟化氢(HF)等。
光伏工业废气主要包含有机废气、酸碱废气及特殊废气三类。废气的产生主要来源于电池片制绒、硅切片清洗、切片工序、去PSG工序、硅切片废线切割工序、烧结工序、电池片丝网印刷,以及化学气相沉积工序中硅烷、氢气和氨气残余时所产生的工业废气。
针对VOCs有机废气,主要采用吸附法与燃烧法进行处理;酸碱废气可采用水溶法处理,主要依托洗涤塔废气处理设备;含易燃易爆气体的废气采用燃烧塔、燃烧桶及风机进行处理;含粉尘的工业气体则可通过布袋除尘器进行净化处理。
由于光伏工业所产生的废气成分复杂,单一废气处理工艺难以实现完全处理,因此光伏工业废气可采用氢氧化钠与硫化钠相结合的方法进行综合治理。
除氢氧化钠与硫化钠联合处理法之外,还可采用亚氯酸钠与硫酸组合或其他处理工艺,具体方案需依据废气的主要成分予以确定。


